清洁规格 AD 型 直接密封型执行器配备自动阀门
采用新的直接密封结构，实现了CV值50%的提升
一种直封隔膜阀，具有高清洁和清洁规格，兼容高纯度气体容器。 新型直接封结构最大限度地减少了死角，并使CV值比典型直接封结构提升了50%。
严格按照《高压气体安全法》制造（部分气体除外）。 非常适合用于硅烷、磷化氢和砷等特殊材料气体。
[型号]
AD-PS-2100 和 AD-MS-2100 型号
特色
·新型直接密封隔膜结构，最大限度地减少阀门内部死角，大幅提升净化性能。
·与典型的直接封层结构相比，CV值提高了约50%。 支持未来的高流量消费。
·对阀体气体接触段进行了精确的内部表面抛光（1秒或更短时间）。
·安全阀部分采用特殊形状材料，由主体保护。 该结构仅用专用夹具开关，防止意外操作。
·最终清洁在洁净室内进行超纯水清洗。
·使用氦气泄漏检测器测量了所有泄漏（内部泄漏、外部泄漏）。
·除了允许在加注口内安装孔口的类型外，产品线还包括手动阀门型AD-MS型和自动阀门型AD-PS型。